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摘要:干涉仪是一种利用干涉现象测量物理量的精密仪器。其主要用途包括测量光学元件的面形、检测材料内部的缺陷等。原理上,干涉仪通过产生两束相干光波,使其在某些区域发生干涉,通过观测干涉条纹的变化,可以获取光学元件表面的微...